제조업에 있어서 가장 문제점은 동일한 여러 대의 설비를 설치하고 운영하는데 Best, Worst설비가 발생한다는 것이다. 이러한 문제는 설비를 운영하면서 호기별로 Parameter를 변경하거나 부품 교체를 통하여 기존 제품과 다른 것을 사용한다든지 함으로써 발생된다. 이러한 애로사항을 최소화하기 위해서는 설비별 Sameness가 필요하다.
설비별 Sameness가 필요하지만 이를 어떻게 해야 할까?
오늘은 이러한 설비별 성능의 Sameness에 대해서 어떻게 확보할 수 있을지에 대해서 알아보도록 하겠다. 특히 TTTM에 대해서 알아보도록 하겠다.
1) 정의
Tool to Tool Matching(TTTM)은 제조 공정에서 사용되는 여러 공정 도구와 장비의 일관성을 유지하고, 공정 결과의 변동성을 최소화하기 위해 사용하는 방법이다.
2) TTTM의 목표
TTTM은 특히 반도체, 디스플레이, 배터리 제조와 같은 정밀한 공정에서 중요하다. 이는 각 도구가 동일한 작업을 수행할 때, 그 결과가 동일하거나 매우 유사하도록 하는 것을 목표로 한다.
Tool to Tool Matching의 주요 목적
1. 일관성 유지 : 동일한 공정을 여러 도구에서 수행할 때, 결과가 일관되게 나오는 것을 보장한다.
2. 공정 변동성 최소화 : 공정 도구 간의 변동성을 최소화하여 전체 생산 공정의 안정성을 높인다.
3. 품질 향상 : 일관된 품질을 유지하여 최종 제품의 품질을 향상시킨다.
4. 수율 개선 : 변동성을 줄임으로써 불량률을 낮추고, 생산 수율을 개선한다.
Tool to Tool Matching의 주요 요소
1. **데이터 수집 및 분석**:
- 각 도구에서 수집된 공정 데이터를 비교 분석하여, 도구 간의 차이를 식별합니다.
- 통계적 방법과 데이터 분석 도구를 사용하여 변동 원인을 분석합니다.
2. **공정 조정**:
- 도구 간의 차이를 최소화하기 위해 공정 파라미터를 조정합니다.
- 자동화된 제어 시스템을 통해 실시간으로 공정 조건을 모니터링하고 조정할 수 있습니다.
3. **정기적인 유지보수**:
- 도구의 성능을 일정하게 유지하기 위해 정기적인 유지보수와 검교정(calibration)을 실시합니다.
- 도구의 마모나 오차를 사전에 식별하고 조치합니다.
4. **도구 간 교차 검증**:
- 서로 다른 도구에서 동일한 공정을 수행한 후, 결과를 비교하여 일관성을 확인합니다.
- 교차 검증을 통해 도구 간의 일관성을 지속적으로 평가하고 개선합니다.
5. **표준화된 프로토콜 및 절차**:
- 모든 도구에 동일하게 적용되는 표준화된 공정 프로토콜과 절차를 수립합니다.
- 운영자 교육과 훈련을 통해 표준 절차를 일관되게 적용합니다.
### Tool to Tool Matching의 예
- **반도체 제조**: 리소그래피, 에칭, 증착 등의 공정에서 여러 장비가 동일한 웨이퍼를 처리할 때, 결과가 일관되도록 TTTM을 적용합니다.
- **디스플레이 제조**: 다양한 패널 제작 공정에서 도구 간의 색상, 밝기, 해상도 등의 일관성을 유지하기 위해 TTTM을 사용합니다.
- **배터리 제조**: 전극 제작, 셀 조립, 활성화 과정 등에서 각 공정 도구의 성능을 일치시키기 위해 TTTM을 적용합니다.
Tool to Tool Matching은 제조 공정의 효율성과 품질을 높이는 데 중요한 역할을 하며, 이를 통해 고품질의 제품을 안정적으로 생산할 수 있습니다.