EDS공정이란?
1) Electrical Die Sorting 의 약자
2) Wafer 상에 있는 Die를 하나하나 양품/불량품으로 구분하는 공정을 말한다.
방법은?
웨어퍼 상태에서 전기적 특성 검사를 진행하여 각각의 칩들이 정상동작하는지 검사하는 방식으로 진행한다.
왜 중요한가?
반도체 수율(Yield) 향상과 직격되기 때문에 매우 중요하다고 할 수 있다. EDS공정은 웨이퍼 상태의 칩의 양품/불량품 검사를 통해 불량품 중 수선(Repair) 가능한 것들은 양품화한다.
또한 웨이퍼 공정상 또는 설계 상 발생한 문제점을 수정하느데 피드백을 줄 수 있다. 마지막으로 불량품을 미리 선별하여 이후 진행되는 패키징 공정과 테스트에서 제외한다. 따라서 Yield 개선에 기여할 수 있는 공정이라고 할 수 있다.
Yield란?
Wafer한장에 들어갈 수 있는 최대 칩 개수 대비 양품의 개수…
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